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集成式MEMS振鏡

MEMS振鏡控制器

直徑高達(dá)2.4毫米的集成MEMS振鏡是單片制造的,作為無(wú)萬(wàn)向節(jié)執(zhí)行器設(shè)備結(jié)構(gòu)的集成部分。它們是硅芯片的中心區(qū)域,與周?chē)撵o電致動(dòng)器共享相同的微細(xì)加工步驟。這些鏡子由相同的可用硅層構(gòu)成,具有幾乎完全平坦和光滑的硅表面。在四個(gè)側(cè)面,鏡子連接到提供兩軸運(yùn)動(dòng)的雙軸連桿。自2016年以來(lái),我們不斷庫(kù)存具有以下直徑的集成反射鏡的設(shè)備:0.8毫米、1.2毫米、2.0毫米和2.4毫米。所有庫(kù)存的集成反射鏡都涂有純鋁,可在非常寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)提供高反射率。金金屬化可以在晶圓規(guī)模上進(jìn)行,因此可用于更大的生產(chǎn)訂單。
主要特征 
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標(biāo)準(zhǔn)模塊光學(xué)參數(shù)
型號(hào)/系列 機(jī)械偏轉(zhuǎn)角[°] 磨具尺寸[mm] 振鏡直徑[mm]
A3I8.2-800AL ±6 4.25 x 4.25 0.8
A7M8.1-800AL ±4.75 5.20 x 5.20 0.8
A7M10.2-1000AL ±4.75 5.20 x 5.20 1
A3112.2-1200AL ±5 4.25 x 4.25 1.2
F1M16.2-1600AL ±4.5 5.20 x 5.20 1.6
A7M20.2-200OAL ±5 5.20 x 5.20 2
A5M24.3-2400AL ±5 7.25 x 7.25 2.4